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ccd型系列电动超高真空插板阀
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52.png

产品名称:ccd型系列气动超高真空插板阀
产品介绍:

ccd型系列气动超高真空插板阀是用压缩空气为动力,通过电磁换向阀改变气路方向,推动气缸活塞,驱动阀板作上下运动,实现阀门的开启或关闭,从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。
适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。



详细说明
 主要技术性能
适用范围(pa)
105~1.3x10-7
阀门漏率(pa.l/s)
dn≤200为≤1.3x10-7
dn≥250为≤6.7x10-7
阀门烘烤温度(℃)

≤150(except the drive device)

开阀时阀板两侧压力差(pa)
≤2.7x103
阀板密封件
氟橡胶
主轴密封用密封材料
不锈钢波纹管
52.1.png
 连接及外形尺寸
型号
通径(dn)
a
b
c
d
e
h
l

φd

φb
φg
φk
n-d
f
ccd-63
63
130
64
110
54
170
66
532
114
92.2
82.4
77
8-m8
12
ccd-80
80
166
77
140
61
210
70
580
130
110
99
93
16-m8
ccd-100
100
186
160
72
230
70
610
182
130.3
120.6
115
ccd-150
150
234
207
96
307
78
726
202
181
171.4
166
20-m8
15
ccd-200
200
280
254
121
382
80
829
253
231.8
222.1
217
24-m8
ccd-250
250
342
80
312
148
462
90
940
305
284
273.0
267
32-m8

 

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